La technologie catalytique supprime les produits chimiques toxiques des eaux usées de fabrication de micropuces

Le professeur Long Nghiem travaille avec IWI Australia sur la technologie catalytique pour l’eau. Crédit: Université de technologie, Sydney
La fabrication de semi-conducteurs est une entreprise faspidement propre. Les composants sont lavés plusieurs fois pour éliminer les impuretés, en s’appuyant sur de grandes quantités d’eau purifiée et d’autres produits chimiques.
Le usines de fabrication Utilisez d’énormes quantités d’eau. Par exemple, le plus grand fabricant de semi-conducteurs au monde, TSMC, utilise trois milliards de tonnes métriques d’eau par jour dans leurs trois parcs scientifiques taïwanais – trois fois le quotidien en eau de Sydney.
Le professeur Long Nghiem, directeur du UTS Center for Technology in Water and Wastewater, exploite le pouvoir de la chimie pour aider l’industrie à recycler plus d’eau et à évoluer vers un avenir plus durable.
« Avec la demande en plein essor de micropuces au pouvoir intelligence artificielleet d’énormes volumes d’eau utilisés pour les fabriquer, les entreprises doivent recycler au moins 90% de leur eau pour ne pas épuiser les fournitures locales. Plus de 100 produits chimiques spécialisés sont utilisés dans la fabrication de micropuces. Nous devons supprimer le pire de ces produits chimiques pour obtenir eau propre À la fin du processus « , dit-il.
« Les deux plus problématiques de ces produits chimiques sont le peroxyde d’hydrogène, utilisé dans le nettoyage de surface et le triazole, pour la prévention de la corrosion. Les deux sont très toxiques et ne se décomposent pas facilement. »
Travaillant avec la start-up de la technologie nautique Infinite Water International (IWI) Australie, le professeur Ngiem et son équipe, y compris un collègue professeur agrégé Cuong Ton-That, ont développé une nouvelle technologie catalytique qui décompose ces deux principaux polluants.
« Nous utilisons un processus catalytique. Nous ne filtrons pas les contaminants mais avons plutôt un agent d’oxydation qui les décompose de manière très ciblée », dit-il.
« Nous emballons cet agent dans une unité de plug-and-play qui s’inscrit dans l’infrastructure des eaux usées et rince de l’eau contaminée pour la nettoyer. Nous dégradons les polluants au point où l’eau devient sûre pour tout processus ultérieur de recyclage ou d’élimination éventuelle. »
« Le processus de traitement actuel pour faire des micropuces existe (depuis) près de 100 ans. Nous n’essayons pas de changer ce processus, nous essayons d’ajouter et d’utiliser toute l’infrastructure existante. »
Deux des plus grands fabricants de puces logiques du monde travaillent avec IWI Australia pour évaluer cette technologie innovante sur leurs opérations des eaux usées.
« En règle générale, plus de 10% des dépenses en capital de ces avancés Fabrication de semi-conducteurs Les usines de fabrication (ou FAB) sont destinées à l’utilisation de l’eau et au recyclage de l’eau. Cela s’ajoute à des milliards de dollars », explique Matthew Ng, fondateur et PDG d’IWI Australia.
« Nous cherchons à les aider à recycler durablement l’eau plus rentable à cette échelle énorme. Cette innovation perturbatrice industrielle peut aborder des points de douleur importants pour ces entreprises. »
« Une fois qu’ils peuvent éliminer les produits chimiques spécialisés à un coût beaucoup plus faible, cela leur permet de recycler la majeure partie de l’eau et de décharger tout excès d’eaux usées en toute sécurité dans l’environnement. »
La technologie a été brevetée pour une utilisation avec peroxyde d’hydrogènedémontrant son élimination efficace du peroxyde de concentration élevée en quelques minutes.
Un brevet est en attente pour la destruction du triazole, où il a été démontré qu’il se dégrade jusqu’à 90% du polluant en seulement une heure dans un processus innovant et simple.
Fourni par
Université de technologie, Sydney
Citation: La technologie catalytique élimine les produits chimiques toxiques des eaux usées de fabrication de microchip (2025, 2 mai) Extrait le 3 mai 2025 de https://techxplore.com/news/2025-05-catalytic-technology-toxic-chemicals-microchip.html
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